Η περιοχή Σταυρού βρίσκεται στη είσοδο των Μεσογείων.
Η ονομασία της περιοχής οφείλεται εις την τοποθέτηση ενός μαρμάρινου σταυρού από τον μοναχό Αθανάσιο που ασκήτευε στην περιοχή και συγκεκριμένα στο παρεκκλήσιο της Αγ. Θέκλας.
Ο Σταυρός ήταν τοποθετημένος στο κίονα του Νεοφύτου ο οποίος σώζεται ακόμα στον αύλιο χώρο της Αγ. Θέκλας χωρίς όμως το Σταυρό του Αθανασίου.
Ο Ιερός Ναός ξεκίνησε το έτος 1963 με πρόταση του πρώτου εφημερίου π. Ιωσήφ Τσανακάκη.
Η κατασκευή του ήταν από ξύλο και η στέγη του από ελενίτ.
Ο χώρος που κατασκευάστηκε ήταν δασικός. H ανάγκη ανεγέρσεως Ναού ήταν επιτακτική. Αφού όμως έγινε αποχαρακτηρισμός της έκτασης και το παρεκκλήσιο της Αγίας Θέκλας δεν επαρκούσε για τις ανάγκες των κατοίκων, μιας και δεν υπήρχε άλλος Ναός στην περιοχή, αποφασίστηκε η ανέγερση του νέου Ναού.
Η πρώτη Θεία Λειτουργία έγινε την 8/9/1963. Στην επιλογή του ονόματος του Ναού έπαιξε σημαντικό ρόλο το όνομα της περιοχής και το ότι λίγες ημέρες μετά την ολοκλήρωση του ξύλινου Ναού θα εορτάζετο η Παγκόσμιος Ύψωσις του Τιμίου Σταυρού.
Η τελετή της Θεμελιώσεως έγινε το έτος 1967 από τον Σεβ. Μητροπολίτη Αττικής και Μεγαρίδος κ. Νικόδημο και του εφημερίου του Ναού π. Ιωσήφ Τσανακάκη.
Τα εγκαίνια του Ναού έγιναν στις 16/6/1996 από τον μακαριστό Μητροπολίτη Μεσογαίας και Λαυρεωτικής κυρό Αγαθόνικο , και τον Θεοφιλέστατον Επίσκοπον Διαυλείας κ. Δαμασκηνό Εφημερεύοντος του Πρωτοπρεσβυτέρου π. Κωνσταντίνου Πιθακάκη.
